一群人,一輩子、只為做好點(diǎn)膠機(jī)
時(shí)間:2023-11-01 預(yù)覽:1
在線式高速噴射晶圓點(diǎn)膠機(jī)是一種用于在線式生產(chǎn)中加工晶圓的設(shè)備,也稱為絲印機(jī)或噴墨打印機(jī)。其工作原理是通過(guò)高速噴射的膠水來(lái)將保護(hù)層涂覆在晶圓表面,以保護(hù)晶圓并增加其導(dǎo)電性。
在線式高速噴射晶圓點(diǎn)膠機(jī)的主要組成部分包括:
晶圓涂覆系統(tǒng):用于將膠水從噴嘴中噴射到晶圓表面。
控制系統(tǒng):用于控制噴射系統(tǒng)的運(yùn)行和參數(shù)設(shè)置。
原料供應(yīng)系統(tǒng):用于提供膠水和其他原料。
廢液收集系統(tǒng):用于收集廢液并回收利用。
在線式高速噴射晶圓點(diǎn)膠機(jī)的工作流程:
將晶圓放入洗滌液中,去除表面的污垢。
將晶圓放入預(yù)熱后的涂覆系統(tǒng)中,將膠水從噴嘴中噴射到晶圓表面。
控制噴射系統(tǒng)的運(yùn)行,以控制膠水的噴射速度和流量。
根據(jù)需要,調(diào)整膠水的濃度和粘度。
在涂覆完成后,將晶圓從涂覆系統(tǒng)中取出,并用廢液收集系統(tǒng)收集廢液。
檢查晶圓的表面質(zhì)量,并根據(jù)需要進(jìn)行再次涂覆。
在線式高速噴射晶圓點(diǎn)膠機(jī)具有生產(chǎn)效率高、生產(chǎn)能力大、制程穩(wěn)定、易操作等優(yōu)點(diǎn),可廣泛應(yīng)用于集成電路、半導(dǎo)體器件等領(lǐng)域的生產(chǎn)中。